单道扫描光谱仪：从光源发出的光穿过入射狭缝后，反射到一个可以转动的光栅上，该光栅将光色散后，经反射使某一条特定波长的光通过出射狭缝投射到光电倍增管上进行检测。光栅转动至某一固定角度时只允许一条特定波长的光线通过该出射狭缝，随光栅角度的变化，谱线从该狭缝中依次通过并进入检测器检测，完成一次全谱扫描，和多道光谱仪相比，单道扫描光谱仪波长选择更为灵活方便，分析样品的范围更广，适用于较宽的波长范围。但由于完成一次扫描需要一定时间，因此分析速度受到一定限制。

全谱直读等离子体发射光谱仪：光源发出的光通过两个曲面反光镜聚焦于入射狭缝，入射光经抛物面准直镜反射成平行光，照射到中阶梯光栅上使光在X向上色散，再经另一个光栅在Y向上进行二次色散，使光谱分析线全部色散在一个平面上，并经反射镜反射进入面阵型CCD检测器检测。由于该CCD是一个紫外型检测器，对可见区的光谱不敏感，因此，在光栅的中央开一个孔洞，部分光线穿过孔洞后经棱镜进行Y向二次色散,然后经反射镜反射进入另一个CCD检测器对可见区的光谱(400～780nm)进行检测。这种全谱直读光谱仪不仅克服了多道直读光谱仪谱线少和单道扫描光谱仪速度慢的缺点，而且所有的元件都牢固地安置在机座上成为一个整体，没有任何活动的光学器件，因此具有较好的波长稳定性。

     近年来，由于全谱直读型仪器能更大限度地获取光谱信息，便于进行光谱干扰和谱线强度空间分布的同时测量，有利于多谱图校正技术的采用，有效消除光谱干扰，提高选择性和灵敏度，越来越多的科研和工业企业选择全谱直读的仪器，来获取快，精确的测量分析结果。

    德国派克新款的ARCOS光谱仪，以独一无二的全新MultiView等离子体接口，第一次在同一台仪器上实现了真正的轴向和径向直接观测，拥有真正全谱记录同时测量的性能，将电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）的效率和性能推向了新的高度。