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X射线荧光光谱仪可以分析粉末样品、熔融样品、液体样品、固体样品等,非金属或金属都可以分析;火花直读光谱仪只能分析固体样品,而且要求样品是导电介质,简单的说就是分析金属固体样品中的金属或者非金属元素。
X射线荧光光谱法的定量分析是以荧光X射线的强度为依据的,因此,一切影响X射线荧光光谱仪射线强度的因素都必将影响分析的准确度。