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1974年第一台以电咸耦合等离子体（ICP）作为激发光源的ICP发射光谱仪问世。1983年ICP质谱仪开始推出，并很快确立了基市场地位。ICP质谱具有极高的灵敏感度、极少的干忧，使分析结果更为精确，由于ICP质谱的检出限极低所以，所以仪器需要在洁净室中动行，以免受环境污染的影响。
X射线定义：l X射线是一种波长较短的电磁辐射,通常是指能量范围在0.1-100KeV的光子.X射线与物质的相互作用主要有荧光.吸收.散射三种。X射线的荧光物质中的组成元素产生特征辐射,通过测量和分析样品产生的X射线荧光,即可获得样品中的元素组成,得到物质成分的定性和定量信息.l X射线光谱仪通常可分为两大类:波长色散(WDXRF)和能量色散(EDXRF)X射线荧光光谱仪.l X射线荧光分析技术的缺点是检出限不够低,不适于分析轻元素,依赖标样,分析液体样品手续比较麻烦.由于电感耦合等离子质谱仪(ICP-MS)具有极
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