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1974年第一台以电咸耦合等离子体（ICP）作为激发光源的ICP发射光谱仪问世。1983年ICP质谱仪开始推出，并很快确立了基市场地位。ICP质谱具有极高的灵敏感度、极少的干忧，使分析结果更为精确，由于ICP质谱的检出限极低所以，所以仪器需要在洁净室中动行，以免受环境污染的影响。
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