在汽车和运输、微电子、制造和医疗器械等行业中，产品及其组件的性能和使用寿命非常容易受到污染的影响。
徕卡DM6 M LIBS材料分析解决方案 (参考图 1) 等二合一解决方案将光学显微术 (目视分析) 和激光诱导击穿光谱 (LIBS) (化学分析) 相结合。与扫描电镜检查法(SEM) 和能量色散谱(EDS) 等其他方法进行比较，在高效清洁度分析中占据着优势。
查找和消除污染源更轻松
对于技术清洁度，最终目标是查找和消除污染源。二合一解决方案可以用更少的时间和精力识别污染源，因为清洁度分析流程得到了简化。
与使用扫描电镜检查法 (SEM) 和能量色散谱 (EDS) 进行分析的不同之处在于:
>无需样品制备；
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