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清洁度检测系统

2018年10月19日14:07 


徕卡清洁度检测系统已有10 年以上的历史,迄今为止已可以提供比较完善的清洁度整体解决方案,通过直观的软件,较精准的、可重复的测量过滤膜上的颗粒,为客户带来更好的工作效率。


为您提供高专业度的解决方案


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系统的光路目前已经是为清洁度专门设计,特有的自动偏光能在扫描过程中直接快速准确识别反光和非反光颗粒。

  • 自动偏光法是根据反光与非反光颗粒的折射率不同,在偏振片下呈现出的明亮和黑暗,结合软件的灰度判定来直观准确地判断反光于非反光颗粒的。这种判定方法不受颗粒形状的影响,只要是亚光颗粒,在偏振下就是全黑色的,而其余的颗粒就是反光颗粒。


  • 其他公司则使用自然光法,对于球状颗粒的误判性很高。其原因是,球状亚光颗粒在自然光下会呈现局部黑暗,局部明亮的双重性,对于仅仅依靠灰度来识别的软件而言,难以判定其究竟是反光还是亚光颗粒。

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Modified diaphragm module of 11888738 (Stand top DM6000M, Cleanliness Expert)

and 11888737 (Stand top DM4000M, Cleanliness Expert)

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