波长色散X射线荧光光谱仪的新进展

X射线荧光光谱分析在20世纪80年代初已是一种成熟的分析方法，是实验室、现场分析主、次量和痕量元素的首选方法之一。X射线荧光光谱仪（XRF）是利用原级X射线或其他光子源激发待测物质中的原子，使之产生荧光（次级X射线）,从而进行物质成分分析的仪器。X射线荧光光谱仪又称XRF光谱仪，有波长色散型和能量色散型两种，适用于测定铍 (Be)以上的化学元素的含量。它的优点是不破坏样品，分析速度快，分析精度高，样品制备简单。X射线荧光光谱仪还可以用于微区分析及确定分层和涂层的厚度和成分。

X-射线与物质的交换

XRF荧光光谱仪是可以对任何种类的样品进行元素分析的最好分析技术，无论分析的样品是液体、固体、浆料还是粉末。 它是一种可靠的技术，结合了高精度和准确性以及简便、快速的样品制备等优点。可以在要求实现高处理量的工业环境下自动完成使用准备，并且提供定性和定量的样品相关信息。

XRF荧光谱仪系统通常分为两大类：波长色散型(WDXRF) 和能量色散型(EDXRF)。

EDXRF荧光光谱仪，一般由光源（X-线管）、样品室及检测系统等组成，与波长色散型荧光光仪的区别在于他不用分光晶体及精密运动装置（测角仪）。

EDXRF 光谱仪的特点：

• 仪器结构简单小巧，省略了精密运动装置
• 没有分光晶体
• X射线管功率低（一般＜50W）
• 无需昂贵的高压发生器和冷却系统（空气冷却即可）
• 可同时执行元素分析

优点在于X射线利用率高，可同时检测多元素，价格低；

缺点是灵敏度低、分辨率低、检出限高（相对于WDXRF）.

WDXRF一般由光源（X-射线管）、样品室、分光晶体和检测系统等组成。它可以分析从铍 (Be) 到铀 (U) 的各种元素，浓度范围从100 % 到低至亚ppm 级。